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　　應(yīng)力檢測(cè)儀的測(cè)量方法：

　　1.標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量

　　標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量方法采集樣品3個(gè)方向的應(yīng)力值（0°60°120°），zui終得出應(yīng)力大小，標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量方法的測(cè)量精度zui高，測(cè)量范圍在0~74nm，是日常的檢測(cè)的常用方法。

　　特點(diǎn)：測(cè)量時(shí)間較短，單次測(cè)量一般小于30s，結(jié)果中會(huì)同時(shí)給出樣品應(yīng)力的大小及方向。

　　2.單方向測(cè)量

　　在測(cè)量時(shí)，應(yīng)力檢測(cè)儀只采集單一方向應(yīng)力值，即偏振方向是固定的，默認(rèn)值0°（即為圖像中45°傾斜方向），并且可以自定義偏振角方向，zui后得出在該方向上的應(yīng)力分布。

　　特點(diǎn)：使用單方向測(cè)量方法得出測(cè)量結(jié)果中可以觀(guān)察到光延遲的正/負(fù)值，或者可以理解為應(yīng)力是來(lái)自樣品自身的張力還是外界造成的壓力。

　　3.多方向測(cè)量

　　在多方向測(cè)量中，應(yīng)力檢測(cè)儀采集的是六個(gè)方向的應(yīng)力值（0°,15°,30°,…75°），通過(guò)計(jì)算得出zui后的應(yīng)力大小。多方向測(cè)量方法的測(cè)量范圍要大于標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量方法，在標(biāo)準(zhǔn)測(cè)量方法中，當(dāng)光延遲大于74nm時(shí)，測(cè)試結(jié)果的圖像中會(huì)觀(guān)察到白線(xiàn)圈出的紅色區(qū)域出現(xiàn)，這時(shí)需要使用多方向測(cè)量方法進(jìn)行測(cè)量，測(cè)量范圍0~295nm。

　　注意：在多方向測(cè)量結(jié)果中，并不能地給出測(cè)試樣品的應(yīng)力方向，并且會(huì)降低測(cè)量精度，增加測(cè)量時(shí)間。